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愛發(fā)科低溫泵株式會(huì)社，是由株式會(huì)社愛發(fā)科（當(dāng)時(shí)名稱日本真空技術(shù)株式會(huì)社）與美國BROOKS AUTOMATIONINC.（當(dāng)時(shí)名稱Helix Technology Corporation CTI事業(yè)部）共同出資、簽訂技術(shù)合作協(xié)議而成立的合資公司，誕生于1981年，并從茅崎市的愛發(fā)科總部租借場地之后開始正式經(jīng)營。4年之后，即1985年終于在現(xiàn)在的茅崎市矢煙，總部工廠籌建成功，使規(guī)模得以進(jìn)一步擴(kuò)大